Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияОтдел физических проблем при Президиуме Бурятского научного центра СО РАН, 670047 Улан-Удэ, Россия e-mail:&nbsp;semenov@pres.bsc.buryatia.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Тонкие пленки углерода. I.&nbsp;Техника выращивания пучками заряженных частиц

Семенов А.П., Семенова И.А.

Семенов А.П., Семенова И.А. Тонкие пленки углерода. I. Техника выращивания пучками заряженных частиц // ЖТФ, 2004, том 74, выпуск 4, Стр. 102

Аннотация Рассмотрим источник ионов и электронов на основе магнетронного разряда с холодным полым и неохлаждаемым стержневым катодами с улучшенными физическими и общетехническими характеристиками.