Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияСаратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН, 410019 Саратов, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Влияние поверхностного состава на плавление тонких пленок InSb

Гуляев Ю.В., Веселов А.А., Веселов А.Г., Бурылин Е.И., Джумалиев А.С., Зюрюкин Ю.А., Кирясова О.А., Рябушкин С.Л.

Гуляев Ю.В., Веселов А.А., Веселов А.Г., Бурылин Е.И., Джумалиев А.С., Зюрюкин Ю.А., Кирясова О.А., Рябушкин С.Л. Влияние поверхностного состава на плавление тонких пленок InSb // ЖТФ, 2004, том 74, выпуск 8, Стр. 113

Аннотация Показана возможность плавления тонких (0.1-0.5 mum) пленок InSb непосредственно в атмосфере под защитным слоем собственных окислов с целью получения высокой величины подвижности основных носителей (до 25 000 cm2/V·s). Экспериментально исследованы особенности синтеза пленок, в основу которого положено термическое импульсное испарение порошка InSb в вакууме. Технология позволила обеспечить необходимую неоднородность состава осажденной пленки по толщине для последующего плавления на воздухе.