Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.&nbsp;Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Научно-исследовательский институт физики им. В.А.&nbsp;Фока Санкт-Петербургского государственного университета, 198504 Санкт-Петербург, Петр ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Исследование структурных свойств итокового транспорта внанокомпозите, сформированном наповерхности кремния посредством окисления пористого слоя

Сорокин Л.М., Григорьев Л.В., Калмыков А.Е., Соколов В.И.

Сорокин Л.М., Григорьев Л.В., Калмыков А.Е., Соколов В.И. Исследование структурных свойств итокового транспорта внанокомпозите, сформированном наповерхности кремния посредством окисления пористого слоя // ФТТ, 2005, том 47, выпуск 7, Стр. 1316

Аннотация Показана принципиальная возможность создания нанокомпозитного слоя Si--SiO2 путем окисления пористого кремния. Полученный при этом нанокомпозит состоит из оксида кремния с включениями кристаллического кремния в виде округлых частиц с размером в интервале 5--30 nm и нитевидной сетчатой структуры с толщиной нитей порядка нескольких нанометров. Измерены ВАХ полученных структур для различных случаев возбуждения образца (фото- и термостимуляция). Оценены величины концентрации ловушек и эффективной подвижности носителей. Выявлено наличие сильного захвата носителей заряда на ловушки, обусловленные развитым интерфейсом в структуре композита. Работа выполнена при поддержке программы ОФH РАН \glqq Новые материалы и структуры\grqq.