Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им. М.В.Ломоносова, 119899 Москва, Россия *Национальный Политехнический институт, Гренобль, Франция ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Сенсорные свойства по отношению к сероводороду иэлектропроводность поликристаллических пленок SnO2(Cu)

Акимов Б.А., Албул А.В., Гаськов А.М., Ильин В.Ю., Лабо М., Румянцева М.Н., Рябова Л.И.

Акимов Б.А., Албул А.В., Гаськов А.М., Ильин В.Ю., Лабо М., Румянцева М.Н., Рябова Л.И. Сенсорные свойства по отношению к сероводороду иэлектропроводность поликристаллических пленок SnO2(Cu) // ФТП, 1997, том 31, выпуск 4, Стр. 400

Аннотация Исследовано влияние легирования медью на сенсорные свойства и электропроводность поликристаллических пленок SnO2(Cu). Установлено, что при комнатной температуре после экспонирования пленок в H2S наблюдается явление остаточной проводимости. Это позволило определить характер низкотемпературной проводимости пленок в условиях различной степени насыщения сероводородом. Сопоставление полученных данных с результатами послойного элементного анализа позволило предложить модель, объясняющую механизм газовой чувствительности SnO2(Cu) к сероводороду. В отличие от традиционных для газовых сенсоров механизмов, связанных с работой поверхности, в рассматриваемом случае изменение проводимости обусловлено химическим взаимодействием электрически активной меди с серой во всем объеме пленки, что и определяет селективность и повышенную чувствительность SnO2(Cu) к H2S.