Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов иприменение этого метода в технологии полупроводниковых приборов

Гук Е.Г., Каманин А.В., Шмидт Н.М., Шуман В.Б., Юрре Т.А.

Гук Е.Г., Каманин А.В., Шмидт Н.М., Шуман В.Б., Юрре Т.А. Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов иприменение этого метода в технологии полупроводниковых приборов // ФТП, 1999, том 33, выпуск 3, Стр. 257

Аннотация Рассмотрены особенности нетрадиционного метода диффузии из полимерных диффузантов различных примесей в кремний и полупроводниковые соединения AIIIBV. Приведены результаты использования этого метода в технологии полупроводниковых приборов на кремнии и гетероструктурах AlGaAs/GaAs и InGaAs(P)/InP.