Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут химических проблем микроэлектроники, 109017 Москва, Россия *Московский государственный университет (Физический факультет), 199899 Москва, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Туннельная спектроскопия атомов примесей в монокристаллической полупроводниковой матрице

Картавых А.В., Маслова Н.С., Панов В.И., Раков В.В., Савинов С.В.

Картавых А.В., Маслова Н.С., Панов В.И., Раков В.В., Савинов С.В. Туннельная спектроскопия атомов примесей в монокристаллической полупроводниковой матрице // ФТП, 2000, том 34, выпуск 4, Стр. 394

Аннотация Представлены результаты исследования атомов примесей, представляющих два важнейших класса (так называемые "мелкие" и "глубокие") в монокристаллической матрице полупроводников группы AIIIBV с целью определения возможностей и перспектив сканирующей туннельной микроскопии/спектроскопии для решения прикладных аналитических и технологических задач полупроводникового материаловедения.