Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияСектор радиационных исследований Академии наук Азербайджана, 370143 Баку, Азербайджан ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Электрические свойства аморфных пленок твердого раствора Ge0.90Si0.10 : Hx

Наджафов Б.А.

Наджафов Б.А. Электрические свойства аморфных пленок твердого раствора Ge0.90Si0.10 : Hx // ФТП, 2000, том 34, выпуск 11, Стр. 1383

Аннотация Аморфные пленки твердого раствора Ge0.90Si0.10 : Hx (x=1.3, 5.1, 8.7, 14.2 и23.7 ат%) толщиной 1 мкм были получены в атмосфере с различными парциальными давлениями водорода методом плазмохимического осаждения. Скорость осаждения составляла 0.3-0.5 Angstrem/c. Измерения электропроводности пленок проведены в температурной области 100-420 K. Измерена темновая проводимость пленки, рассчитаны энергия активации прыжка при температуре 100 K, длина прыжка, подвижность электронов на уровнях varepsilonF и varepsilonC, а также энергия активации проводимости.