Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный технический университет, 394026 Воронеж, Россия *Воронежский государственный университет, 394693 Воронеж, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Микроструктура и физические свойства тонких пленок SnO2

Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И.

Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И. Микроструктура и физические свойства тонких пленок SnO2 // ФТП, 2001, том 35, выпуск 7, Стр. 796

Аннотация Исследовались электрические, оптические и газочувствительные свойства, а также структура и фазовый состав тонких магнетронных пленок SnO2 на подложках из стекла. Четырехзондовым методом и методом Ван-дер-Пау определено электросопротивление, концентрация и подвижность свободных носителей заряда в пленках. Из спектров собственного оптического поглощения оценена ширина запрещенной зоны и характер оптических переходов в поликристаллах. Измерена газовая чувствительность к токсичным и взрывоопасным газам. С помощью peнтгеновской дифракции и электронной микроскопии определены состав, морфология и кристаллическая структура термообработанных при 600oC пленок. В пленках только тетрагональная фаза SnO2, они хорошо кристаллизованы, средний размер зерна после термообработки составляет 11--19 нм. Рассмотрена модель электропроводности поликристаллических пленокSnO2.