Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Тоехашский технологический университет, 4418580 Тоехаши, Япония ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Получение алмазных пленок накристаллическом кремнии методом термического газофазного осаждения

Байдакова М.В., Вуль А.Я., Голубев В.Г., Грудинкин С.А., Мелехин В.Г., Феоктистов Н.А., Крюгер А.

Байдакова М.В., Вуль А.Я., Голубев В.Г., Грудинкин С.А., Мелехин В.Г., Феоктистов Н.А., Крюгер А. Получение алмазных пленок накристаллическом кремнии методом термического газофазного осаждения // ФТП, 2002, том 36, выпуск 6, Стр. 651

Аннотация Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения на фазовый состав алмазных пленок, выращенных на кремниевой подложке. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы при скорости роста~ 1 мкм/ч.