Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный технический университет, 394026 Воронеж, Россия * Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Физические свойства пленок SnO2, обработанных некогерентным импульсным излучением

Рембеза С.И., Рембеза Е.С., Свистова Т.В., Борсякова О.И.

Рембеза С.И., Рембеза Е.С., Свистова Т.В., Борсякова О.И. Физические свойства пленок SnO2, обработанных некогерентным импульсным излучением // ФТП, 2006, том 40, выпуск 1, Стр. 57

Аннотация Приведены результаты исследований электрофизических свойств тонких пленок SnO2, полученных методом реактивного магнетронного напыления. Исследована кристаллизация пленок под действием интенсивного некогерентного импульсного светового излучения с помощью промышленной установки УОЛ.П-1. Показано, что кратковременный импульсный отжиг в течение долей секунды приводит к кристаллизации пленки и высоким значениям ее газовой чувствительности. Установлено, что характер взаимодействия с газами поликристаллической пленки, обработанной изотермически, аналогичен особенностям взаимодействия газов с пленками, кристаллизованными импульсным отжигом. PACS: 81.40.Tv, 81.40.Wx, 61.80.Ba