Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 16:40:17
Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм
Пестов А.Е. Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01. - M, 2006.
Аннотация
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален