Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия e-mail: ssd126@phys.vsu.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Кремниевые МОП-структуры с&nbsp;нестехиометрическими металлоксидными полупроводниками

Тутов Е.А., Рябцев С.В., Тутов Е.Е., Бормонтов Е.Н.

Тутов Е.А., Рябцев С.В., Тутов Е.Е., Бормонтов Е.Н. Кремниевые МОП-структуры с нестехиометрическими металлоксидными полупроводниками // ЖТФ, 2006, том 76, выпуск 12, Стр. 65

Аннотация Окислительным отжигом тонких пленок олова, вольфрама, палладия, никеля и цинка на кремнии сформированы структуры металл-оксид-полупроводник и измерены их высокочастотные вольт-фарадные характеристики. Для нестехиометрических оксидов SnO2-x WO3-x и PdOx обнаружены общие особенности в энергетическом спектре плотности поверхностных состояний. PACS: 81.05.-t