Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 16:21:14
Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в bosch-процессе
Шумилов А.С. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в bosch-процессе : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01. - M, 2009.
Аннотация
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален